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        晶圓劃片刀的選擇至關重要!
        發布時間:2022-11-11 點擊數:826

          隨著終端電子設備的多功能化,在智能化和小型化方向上,芯片尺寸越來越小,給予晶圓切割機的空間越來越小。針對晶圓切割刀以及切割工藝,不但要確保充足的產量,還要確保加工效率。

        就劃片刀本身的制造而言,影響刀片特性甚至晶圓劃片的幾個因素,本文重點分析這些因素的影響作用,幫助大家合理選擇刀具。

          一、金剛石顆粒大小的影響

        金剛石是切割加工的關鍵,分離劑的關鍵是粘結金剛石的效果。不同顆粒大小的金剛石對分割質量的影響相對明顯。大顆粒金剛石的沖擊力較大,工件產生的裂紋較大;

        根據研磨原理的特點,金剛石顆粒的規格越多,對晶圓的影響就越大,導致正面塌陷的規格就越多。金剛石顆粒規格越多,刀片阻塞的概率越低,能有效降低商品背面的坍塌。小顆粒金剛石的沖擊力較小,正面塌陷的規格較低。

          可是這個原則只是針對300um2000年解決左右或以上厚度的晶圓μm在下列極薄晶圓中,大顆粒金剛石的沖擊力很大,薄晶圓不能接受較大的沖擊力。這時有必要挑選小顆粒金剛石,以保證更好的標識品質。金剛石顆粒的大小除了劃片的質量外,還會影響刀片的壽命。顆粒越多,刀片壽命越長;顆粒越低,刀片壽命越短。

          二、分離劑強度的影響

          分離劑作用是將金剛石牢固粘在一起,不同硬度的分離劑對葉子的壽命有很大影響。柔性分離劑可以加速金剛石顆粒的速度“自身尖銳”使劃片刀始終處于尖銳狀態,可以減少晶圓的正面塌陷、分層和毛邊問題。硬分離劑能夠更好的控制金剛石顆粒,提升刀片的耐磨性,提升刀片的使用期。缺乏柔性分離劑是縮短刀片壽命,缺乏硬分離劑是劃片產品質量差。

          三、影響刀片厚度

                 1)刀片厚度:一是刀片振動小、保證產品質量;是刀片強度;是刀片強度;不易斷刀;第劃片接觸面積大、阻力大、產生的碎渣多、進給速度慢、易污染。

                 2)刀片?。阂皇莿澠佑|面積小、阻力小、進給速度快;二是刀片振動??;保證產品質量;第三,刀片強度弱、易斷刀。

          四、影響刀片長度

               1)刀片長度一是使用壽命長;二是刀片強度弱;、進給速度慢

               2)刀片短:一是利用周期短;二是刀片強度強度、進給速度快、不易斷刀;第三,振動小質量好。

          五、修刀環節的影響

          修刀的效果是暴露刀片表面的金剛石,調整刀片和輪圈、法蘭的偏心量。當新刀設備在主軸和法蘭上時,盡管刀片與主軸頂端觸碰,但兩者之間仍有空隙,這是刀片的“偏心”。

        如刀片在“偏心”在這種情況下,只要刀片部分工作,負載太大,容易產生逆刀和負載表明,影響產品品質。

          選擇合適的刀片做為既定的切割材料,以均衡刀片的壽命和切割品質。高壽命,降低質量;高質量,降低壽命。在選擇刀片時,我們還應該了解刀片表面硬度的影響。刀片的表面硬度通常稱為基材強度?;膹姸韧ㄟ^金剛石規格、濃度和粘合劑強度決定。一般來說較細的磨料規格、較高的金剛石濃度和較硬的粘合劑將獲得相對增加的基底強度。一般提倡與其他因素綜合考慮,硬數據要求軟(基底)刀片切割,相反。此外,主軸轉速、膜、冷卻水、刀片方法等也可能影響刀片的選擇。

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